中微半导体设备(广州)有限公司
项目名称:中微公司华南总部及半导体、泛半导体设备研发生产基地一期项目研发系统工程
建设范围:包含洁净室系统工程、全厂(不含精装修、厨房及IT机房区域)暖通工程、全厂(不含精装修、厨房及IT机房区域)室内照明工程、本包设备的配电、防雷接地工程、冷热源系统工程、制程排气系统工程、冷却塔系统工程、PCW、HV系统工程、洁净室范围内的消防系统工程。
生产产品:Gen 8.5代平板显示PECVD工艺设备(PECVD产品,刻蚀产品)
项目亮点:项目建成后,将聚焦大平板显示设备领域,并拓展至智能玻璃、板级封装等其他新兴平板微观加工技术领域,标志着中微公司在以广东为核心的华南地区布局半导体、泛半导体装备产业生态进入新阶段,为公司不断提升研发及生产能力提供有力保障,也将有力支撑广州打造国家集成电路产业发展“第三极”核心承载区,为区域经济发展注入强劲新动能。

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洁净技术全领域应用专家
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